助手标题
全文文献 工具书 数字 学术定义 翻译助手 学术趋势 更多
查询帮助
意见反馈
共[9]条 当前为第1条到9条
 

相关语句
未完全匹配句对
    Fabrication process analysis for electrostatically actuated microgripper based on silicon bulk micromachining
    基于体硅工艺的静电致动微夹持器制作工艺分析
    Bulk-Silicon Resonant Accelerometer
    一种新型体硅谐振加速度计(英文)
    The size of the tunneling tip is 0.02 μm×0.02 μm, and the tunneling electric current of the accelerometer is 1.14 nA—4.68 nA.
    对器件进行体硅工艺研究 ,结果为 :隧尖尺寸为 0 .0 2 μm× 0 .0 2 μm ,隧道电流为 1.14nA~ 4.68nA .
    The device is fabricated using MEMS bulk-silicon technology,whose sensitive degree is 27 3Hz/g,and the resolution is 167 8μg.
    利用MEMS体硅工艺研制了这种新型加速度计 ,测试的灵敏度为 2 7 3Hz/ g ,分辨率为 16 7 8μg .
    A method for designing and fabricating a novel deformable mirror with large effective area is proposed on the basis of MEMS technology.
    基于MEMS技术体硅工艺,提出一种新型大有效面积的连续变形反射镜的设计制造方法。
    The experimental results indicate that in the cantilever-mass system formed by EPW bulk etching, there exists a tensile stress of 40~160MPa in the cantilever and mass, averagely, the residual tensile stress in the micro-cantilever is larger, reaching 100MPa.
    测试结果表明EPW体硅腐蚀形成的梁—质量块系统中梁与质量块上存在40~160MPa的张应力,微梁上的残余张应力平均达到100MPa;
    A bulk-silicon micro-accelerometer with comb differential-capacitance
    梳齿差分电容式体硅微加速度计(英文)
    Electrostatically actuated microgripper based on silicon bulk microma chining
    体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究
    A Tunneling-Based Accelerometer in Bulk Silicon Processes
    体硅隧道加速度计
 

首页上一页1下一页尾页 

 
CNKI主页设CNKI翻译助手为主页 | 收藏CNKI翻译助手 | 广告服务 | 英文学术搜索
版权图标  2008 CNKI-中国知网
京ICP证040431号 互联网出版许可证 新出网证(京)字008号
北京市公安局海淀分局 备案号:110 1081725
版权图标 2008中国知网(cnki) 中国学术期刊(光盘版)电子杂志社