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wave front aberration
    Micro optics adaptive unit technique is a kind of intelligent MOEMS technique, which can adjust wave front aberration and get clear image.
    微光学自适应单元技术是基于MOEMS工艺的智能化微光学技术,它能实时校正波前像差,保持清晰的成像。
    The new method is based on starting from the Kirchhoff diffraction integral and introducing the quasi wave front aberration (4) or (21), and using the exit pupil coordinates in the Fresnel approximation to derive the amplidute distribution of the image of a object point, and no requiring arrangement matched for the illumination light.
    从基尔霍夫衍射积分出发,引进准波前像差,并在菲涅尔近似下给出点像振幅分布,对照明光源不作匹配限制,计算公式简明,准相干度( 不同于传统的相干度) 容易计算。
    We calculate the spectral and spatial resolution of the spectrometer system. The wave front aberration theory and ray tracing code indicate that the system has good spectral resolution(λ/Δλ)better than 1000 and spatial resolution better than 40μm in the spectrum range of 4—45nm.
    波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明 ,优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为 4— 4 5nm的光谱范围内具有很好谱分辨能力 (λ Δλ >10 0 0 )和空间分辨能力 (优于 4 0 μm) .
 

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