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  词对"位移测量" "micro displacement measuring"来自以下论文
论文关键词词对:微位移测量 Micro displacement Measuring;电容电桥 Capacitance Bridge;静电轴承 Electrostatic Bearing;
——来源文献(篇名:金属球纳米级微位移测量电路的分析 刊名:仪表技术与传感器 作者:韩丰田,高钟毓,赵绍君 出版年:2001)
论文关键词词对:微位移测量 Micro displacement measuring;球面电容 Spherical capacitance;电容电桥 Capacitive bridge;非线性校正 Nonlinear correction;
——来源文献(篇名:球面间隙大范围测量的建模与线性化研究 刊名:仪器仪表学报 作者:韩丰田,高钟毓,王永梁 出版年:2002)
论文关键词词对:微光机电系统 Micro-Opto-Electro-mechanical System;空间光调制器 Spatial light modulator;参数分析 Parameter analysis;光栅衍射 Grating diffraction;微位移测量 Micro Displacement measuring;
——来源文献(篇名:基于MEMS光栅平动式光调制器结构参数分析与实验 刊名:重庆大学硕士论文 作者:闫许 出版年:2006)
    
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自动化技术1

 
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