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  词对"束流" "ion beam current"来自以下论文
论文关键词词对:中空阴极离子源 Hollow cathode ion source;离子束流 Ion beam current;
——来源文献(篇名:911A 型中空阴极离子源的改进 刊名:核技术 作者:王志刚,方渡飞,施伟,吴松茂 出版年:1997)
论文关键词词对:箍缩反射离子二极管 pinch reflex ion diode;绝缘环 dielectric ring;离子束流 ion beam current;阻抗 impedance;
——来源文献(篇名:绝缘环厚度对200kV箍缩反射离子二极管电参数的影响 刊名:强激光与粒子束 作者:石磊,何小平,张嘉生,邱爱慈,吴祖堂 出版年:2000)
论文关键词词对:ECR离子源 ECR ion source;微波功率 Microwave power;在线测量 On-line measurement;离子束流 Ion beam current;
——来源文献(篇名:ECR离子源中的微波功率在线测量 刊名:强激光与粒子束 作者:周长庚,亢武,胡永宏,李彦,娄本超,祖秀兰,熊日恒,陈俊光,黎晓云 出版年:2005)
论文关键词词对:聚焦离子束 focused ion beam;无掩膜离子注入 maskless ion implantation;溅射 sputtering;刻蚀 etch;离子束流 ion beam current;饱和剂量 satuated dose;
——来源文献(篇名:聚焦离子束无掩膜注入单晶硅离子浓度深度分布的研究 刊名:复旦学报(自然科学版) 作者:王蓓;陈忠浩;陆海纬;宋云;曹永明;曾韡; 出版年:2007)
论文关键词词对:Si薄膜 silicon films;离子束溅射 ion beam sputtering;束流 ion beam current;Raman散射 raman scattering;
论文关键词词对:聚焦离子束focused ion beam;铂薄膜Pt thin film;淀积deposition;离子束流ion beam current;
——来源文献(篇名:聚焦离子束淀积铂薄膜性质的研究 刊名:固体电子学研究与进展 作者:陈忠浩;宋云;曾韡;李越生; 出版年:2010)
论文关键词词对:Ge薄膜Germanium film;离子束溅射Ion beam sputtering;生长束流Ion beam current;
——来源文献(篇名:离子束溅射Ge薄膜的生长特性研究 刊名:科技视界 作者:宋超; 出版年:2012)
论文关键词词对:离子束辅助沉积ion beam assisted evaporation;离子束能量ion energy;离子束束流ion beam current;沉积温度deposition temperatures;表面形貌surface morphology;
——来源文献(篇名:光学薄膜微结构制造方法研究 刊名:西安工业大学 作者:许晓慧 出版年:2011)
    
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