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  词对"脉冲电化学机械" "pulse electrochemical mechanical"来自以下论文
论文关键词词对:电化学机械 electrochemical mechanical finishing (ECMF);脉冲电化学机械 pulse electrochemical mechanical finishing (PECMF);加工效率 finishing efficiency;钝化膜 passivation film;
——来源文献(篇名:提高电化学机械光整加工效率的试验研究 刊名:新技术新工艺 作者:李邦忠,周锦进 出版年:2004)
    
类别频次
金属学及金属工艺5

 
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