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误差品质
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The pass-band sensitivity of MEMS resonators/filters is analyzed in this paper. The magnitude and phase sensitivity functions to quality factor error and natural frequency error are derived. The magnitude and phase sensitivity values at the centre frequency and two 3 dB bandwidth cutoff frequency are evaluated particularly. Based on the analysis, some important results are presented in this paper and a sensitivity analysis example is given for these result validation. One hopes that these results would ...

The pass-band sensitivity of MEMS resonators/filters is analyzed in this paper. The magnitude and phase sensitivity functions to quality factor error and natural frequency error are derived. The magnitude and phase sensitivity values at the centre frequency and two 3 dB bandwidth cutoff frequency are evaluated particularly. Based on the analysis, some important results are presented in this paper and a sensitivity analysis example is given for these result validation. One hopes that these results would be very useful for the design and manufacture of MEMS resonators/filters.

以静电梳驱动折叠梁硅微机械谐振器为研究对象 ,在建立硅微机械谐振器振动方程的基础上 ,导出了幅频函数、相频函数对固有频率相对误差、品质因数相对误差的灵敏度表达式 ,重点分析了固有频率相对误差、品质因数相对误差在中心频率处、3d B截止频率处对幅频特性、相频特性的影响 ,以及对常用的 3d B通带带宽的影响 ,得出了一些重要的结论。

 
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