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微机电系统摩擦
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the concent of micro electro-mechanical system was introduced ,ana then the friction mechanical theory of micro electro - mechanical system also was analysed in the paper. at the basis of the different aspect of MEMS firciton and traditional friction,the recent latest research achievement was adonted. Finlly,the friction research direction in MEMS was summed up fully.

介绍了微机械电子系统的概念,分析了微机电系统的摩擦磨损机理。结合近年来研究成果,根据微机电与传统机械摩擦磨损的不同,总结出了微机械电子系统摩擦磨损设计中的研究方向。

 
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