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微接触式测头
相关语句
  micro tactile probe
     Structure Design and Optimization of MEMS Micro Tactile Probe for NMM
     应用于纳米测量机的MEMS微接触式测头的结构设计和优化
短句来源
     To improve the performance of MEMS micro tactile probe, the structure design and parameter optimization of probe are developed.
     为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.
短句来源
  相似匹配句对
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短句来源
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短句来源
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短句来源
     Structure Design and Optimization of MEMS Micro Tactile Probe for NMM
     应用于纳米测量机的MEMS接触测头的结构设计和优化
短句来源
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     接触触发测头触发力的理论分析
短句来源
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To improve the performance of MEMS micro tactile probe, the structure design and parameter optimization of probe are developed. According to the design demands of all parts of probe, several topological structures of suspending parts are presented. Based on mechanic analytic module of probe, affect mechanism of probe performance by structure parameters is presented, as the result, dimensional parameters of stylus, intermediate body, and beam are emulated and optimized. The appropriate parameters and stress curves...

To improve the performance of MEMS micro tactile probe, the structure design and parameter optimization of probe are developed. According to the design demands of all parts of probe, several topological structures of suspending parts are presented. Based on mechanic analytic module of probe, affect mechanism of probe performance by structure parameters is presented, as the result, dimensional parameters of stylus, intermediate body, and beam are emulated and optimized. The appropriate parameters and stress curves that meet the probe’s performance requirements are acquired.

为了提高MEMS微接触式测头的性能,系统开展了测头的结构设计和参数优化.根据测头结构各个部分的设计目标,提出了测头悬挂系统拓扑结构的设计方案.基于测头结构的力学模型,提出了结构参数对测头性能的影响机理,并采用有限元方法对测头的测杆、中心连接体、梁等结构参数进行了仿真优化,获得了符合测头整体性能设计要求的参数及应力分布曲线.

 
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