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   mask transfer 的翻译结果: 查询用时:0.155秒
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mask transfer
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查询“mask transfer”译词为用户自定义的双语例句

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  mask transfer
In order to achieve the wire alignment, we prepared an ordered array of catalytic gold seed particles by a nanosphere lithography mask transfer technique using monodisperse spherical polystyrol nanoparticles.
      


Reactive ion beam etching and mask transfer technique were investigated.Resultsshowed that pressure changes of the reactive gas O_2 or CF_4 have a different effect onthe etching rate of such materials as Au,Cr,Si,SiO_2, Al etc.The ratio of the etchingrate between gold and chromium can reach a value of 16,while it can reach 8.8 betweengold and aluminium.Therefore,high precision gold X-ray mask patterns with highdepth-to-width ratio have been fabricated by reactive ion beam etching and masktransfer...

Reactive ion beam etching and mask transfer technique were investigated.Resultsshowed that pressure changes of the reactive gas O_2 or CF_4 have a different effect onthe etching rate of such materials as Au,Cr,Si,SiO_2, Al etc.The ratio of the etchingrate between gold and chromium can reach a value of 16,while it can reach 8.8 betweengold and aluminium.Therefore,high precision gold X-ray mask patterns with highdepth-to-width ratio have been fabricated by reactive ion beam etching and masktransfer technique.

本文对反应离子束刻蚀及掩模转换技术作了研究,结果表明反应气体O_2或CF_4压力变化对 Au、Cr、Si、SiO_2、Al等各种材料的刻蚀率影响是不同的,金和铬的刻蚀率之比可达16,金和铝的刻蚀率之比可达8.8.因此,反应离子束刻蚀和掩模转换技术已用来制造高深宽比的、精细的x射线金掩模图形.

 
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